2月27日消息,据路透社报道,全球最大的光刻机巨头ASML正在紧急寻找其他氖气供应来源。 ASML一位发言人表示,这是因为乌克兰是全球最大的氖气生产国。
乌克兰生产的氖气对光刻机的品质有影响,因为氖气是光刻气中主要成分,在半导体制程当中,氖气可用于KrF、ArF镭射曝光,在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中,氖气占激光气体混合物的96%以上。电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%,占比并不大,但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。氖、氙、氪是半导体制造业不可缺少的工艺气体,供应链的稳定性极其重要。
乌克兰拥有ICeblick、Ingas和Cryoin等企业,占全球氖气供应量的70%以上。同时,乌克兰还主要生产氪气和氙气,它是半导体行业曝光和蚀刻工艺的关键材料,供应了全球氪气的40%以及氙气的30%。
乌克兰还不仅是氖气的主要供应商,还是氪气、氙气等惰性气体的供应商,这几种气体都是芯片制造的关键材料,根据美国市场调查公司Techcet 2月初发布的最新数据,乌克兰供应全球氖气、氪气、氙气等的需求占比分别达到了70%、40%和30%。
所以俄乌交战之后,芯片业炒作又开始严重了,理由就是氖气要稀缺了。
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